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激光干涉儀

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CNC機(jī)床、CMM、導(dǎo)螺桿及 DRO直線校驗

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激光干涉儀

主要特色與效益

1.       品質(zhì)管制維護(hù)

2.       系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡單、重量輕

3.       自動數(shù)據(jù)采集

4.       激光準(zhǔn)確度經(jīng)由 NIST認(rèn)證

5.       毋須三腳架及干涉鏡

6.       WindowsTM軟件

7.       RS-232接口

8.       自動環(huán)境補(bǔ)償

9.       支持NMTBA、、ISO及 ASME B5.54標(biāo)準(zhǔn)

主要應(yīng)用

1.       品質(zhì)管制維護(hù)

2.       超精密定位

3.       CNC機(jī)床、CMM、導(dǎo)螺桿及 DRO直線校驗

激光干涉儀的技術(shù)參數(shù):

zui大量程

 100000mm

 準(zhǔn)確度

 1μm/M ;

 分辨率

 0.01μm

 zui高工作速度

 2400M/min


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